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等離子清洗機(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機除了具有清洗功能外，在特定條件下還可根據需要改變某些材料表面的性能，在清洗過程中，小型等離子清洗機的輝光放電可以加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
這款等離子清洗機適合于實驗室和小型生產。采用13.56Mhz的射頻電源，能夠用來匹配各種常用氣體的等離子體。射頻電源的功率從100W到1000W之間有多種常用規格可供選配，能夠滿足用戶的多樣化需求。
技術參數：
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主要部件 |
指標名稱 |
參數指標 |
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清洗倉體 |
清洗倉材質 |
不銹鋼 |
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清洗倉尺寸 |
195mm x 300mm x240mm |
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射頻電源 |
電源特性 |
該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。 |
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電源優勢 |
●可長時間正常運行
● 電源效率高、發熱少 |
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射頻功率 |
0~500W連續可調 |
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信號頻率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤100W |
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功率穩定度 |
±0.1% |
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射頻接頭 |
N型頭 |
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整機效率 |
≥75% |
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諧波分量 |
≤-50 dBc |
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冷卻方式 |
強制風冷 |
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氣體測量 |
測量部件 |
浮子流量計 |
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氣體通道 |
兩通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真空獲取 |
真空測量 |
數字真空計（電阻規） |
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真空抽取 |
分子泵組 |
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抽氣速率 |
旋片泵1.1L/s 分子泵600L/s |
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極限真空 |
1.0E-4Pa |
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管道接口 |
進氣口：φ8快擰接頭; 抽氣口KF40/KF16 |
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連接管道 |
KF40真空波紋管 |
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電機功率 |
400W/1.5KW |
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其它 |
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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整機功率 |
1000W |
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使用溫度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整機尺寸 |
650mmX650mmX550mm |
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整機重量 |
90kg |
應用領域：
金屬：去除金屬表面的油脂,油污等有機物及氧化層；
汽車制造：用于汽車制造過程中的塑料和噴漆前處理；
紡織品生產：用于紡織品,濾網和薄膜的親水性,疏水性和表面改性處理；
生物醫療：培養皿提高活性，血管支架，注射器，導管和各種材料的親潤，交合涂覆前處理；
航空航天：絕緣材料，電子元件等表面涂覆前處理；
電子：線路板的清洗和蝕刻。膠片，PP等材料的無氧化和活化處理，改進可焊性；
半導體行業：晶圓加工及處理去除光刻膠，封裝前預處理；
LED：支架清洗封裝前預處理；
塑料橡膠：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
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